JRS4是一款高性能的磁控溅射设备,广泛应用于电子、光电、航天等领域的薄膜材料制备。本文将对JRS4的规格型号进行详细介绍。
1. JRS4-900D
JRS4-900D是JRS4系列中的入门级型号,适合小规模生产和科研应用。其主要特点是带有数字显示屏的操作面板,能够直观地显示工艺参数和溅射进程。此外,JRS4-900D还具备稳定的溅射功率和较高的溅射均匀性,可满足大部分的薄膜材料制备需求。
2. JRS4-1200DX
JRS4-1200DX是一款中高端型号,具有更多的工艺参数可调,并且支持全自动操作。不仅如此,JRS4-1200DX还应用了德国进口的高端磁控源和极佳的抛光工艺,从而确保了更高的溅射稳定性和成膜率。适合需要高精度和高效率生产的复杂薄膜材料选用。
3. JRS4-1500G
JRS4-1500G是一款高端型号,可实现多层膜一次性成型。采用了高精度的控制系统和先进的智能化软件,可快速设置和优化溅射参数,减少生产时间和人力成本。同时,JRS4-1500G还具有高效率的气压调节系统和强大的系统联锁功能,实现高质量的膜层生产。
4. JRS4-2000TG
JRS4-2000TG是JRS4系列的旗舰型号,拥有最强的功率和最大的靶材规格。其特点是在更高的电流和功率下,可实现更高的溅射速率和更大的膜层厚度。同时,JRS4-2000TG还具有更精细的系统控制和更高的反应时间,可满足最苛刻的膜层制备要求,并广泛应用于航天、半导体等高端领域。
总的来说,JRS4系列是一款高性能的溅射设备,可广泛应用于多种领域的薄膜材料制备。通过选择不同的型号,可以根据生产需求和制备类型进行选择,实现最佳的生产效率和膜层质量。